Reaktor do wytwarzania wieloskładnikowych struktur cienkowarstwowych techniką wysokopróżniowego rozpylania katodowego
Czystość procesu wytworzenia warstw, jaką zapewnia nowe urządzenie, pozwala na otrzymanie warstw tlenkowych o wysokiej transparencji oraz dobrych elektrycznych własnościach przewodzących (tlenki na bazie rutenu, cyny i cynku). Szczególnie z tym urządzeniem wiąże się postęp w technologii wzrostu warstw ZnO. Druga grupa materiałów to związki MAX (M - metal grupy przejściowej; A- Al, Si; X - N, C) o nowych właściwościach.
Reaktor GAMMA 1000C umożliwia wytwarzanie cienkich warstw:
oraz struktur wielowarstwowych, m.in. NiSi/TaSiN/Au.