Główna siedziba Instytutu mieści się w Warszawie. Instytut ma oddziały w Warszawie, Piasecznie oraz w Krakowie. Jego struktura badawcza odzwierciedla priorytetowe kierunki działalności, którymi są:
• nanofotonika podczerwieni, zaawansowane źródła i detektory bazujące na InP, GaAs, GaSb i materiałach pochodnych, dla zastosowań w przemyśle, ochronie środowiska i medycynie;
• nanoelektronika heterogenicznych mikrosystemów i krzemowych przyrządów fotonicznych, mikro i nanoczujników, mikrosystemów i sensorów dla diagnostyki medycznej i technicznej, krzemowe detektory promieniowania jonizującego;
• mikro- nanotechnologia półprzewodników szerokoprzerwowych dla elektroniki wysokich częstotliwości i elektroniki przezroczystej;
• nano i mikromateriały dla technologii grubych warstw.