Instytut Technologii Elektronowej (ITE) został utworzony w Warszawie w 1966 roku przez Radę Ministrów jako jednostka Polskiej Akademii Nauk. Podstawowym celem działalności Instytutu było prowadzenie badań podstawowych i stosowanych w dziedzinie elektroniki półprzewodników i fizyki.

W 1970 roku ITE został przekształcony w Instytut przemysłowy podległy Ministerstwu Przemysłu. Jednocześnie ITE został włączony do nowo utworzonego Naukowo Produkcyjnego Centrum Mikroelektroniki CEMI. Dodatkowym zadaniem, jakie stanęło wówczas przed ITE było opracowywanie nowych przyrządów i technologii półprzewodnikowych, wdrażanie ich do produkcji seryjnej oraz nadzór autorski nad tą produkcją.

Od 1991 roku ITE znowu jest niezależną Jednostką Badawczo-Rozwojową podlegającą Ministerstwu Gospodarki. Podstawowym celem działalności Instytutu jest prowadzenie badań naukowych na poziomie światowym oraz opracowywanie zaawansowanych technologii półprzewodnikowych wykorzystywanych w innowacyjnych produktach. W 2000 roku w Piasecznie koło Warszawy rozpoczęła działalność pilotowa linia technologii struktur krzemowych.

Decyzją Ministra Gospodarki, w kwietniu 2002 roku, Ośrodek Badawczo-Rozwojowy Mikroelektroniki Hybrydowej i Rezystorów w Krakowie został włączony do ITE jako oddział zamiejscowy.

Mocą ustawy z dnia 30.04.2010 o instytutach badawczych (Dz.U. Nr 96 z dnia 02.06.2010, poz. 618), z dniem 1 października 2010 roku nastąpiła zmiana oznaczenia formy prawnej Instytutu Technologii Elektronowej. Dotychczasowa forma prawna "jednostka badawczo rozwojowa" została zastąpiona formą prawną "instytut badawczy".