Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych mający status oddziału zamiejscowego Sieć Badawcza Łukasiewicz – Instytutu Technologii Elektronowej zlokalizowany jest w Piasecznie koło Warszawy.
Działalność Oddziału koncentruje się wokół prac badawczo – rozwojowych (B+R) w dziedzinie mikrotechnologii opartej na technologii krzemowej i obejmuje szeroki zakres tematyczny: fotodiody krzemowe i detektory promieniowania jonizującego, detektory cieplnoprzewodnościowe, czujniki mikromechaniczne wykorzystujące zjawisko rezonansu mechanicznego, struktury mikroprzepływowe oraz techniki mikromontażu.
Dzięki systematycznemu wzmacnianiu kompetencji pracowników zespół naukowców, inżynierów oraz wykwalifikowanych techników realizuje projekty B+R poczynając od etapu rozwoju koncepcji, poprzez wielodomenowe symulacje komputerowe, dobór optymalnych materiałów i właściwej technologii, aż do opracowania prototypu specjalizowanego przyrządu. Prace B+R oraz produkcja małoseryjna prowadzona jest w laboratorium technologicznym (cleanroom’ie) klasy ISO 4–6, wyposażonym w kompletny zestaw urządzeń procesowych i pomiarowych umożliwiających wytwarzanie struktur mikro- i nano-przyrządów z użyciem procesów charakterystycznych dla technologii CMOS / MEMS.
Elastyczne podejście do prowadzonych prac, szeroki wachlarz oferowanych technologii, stale rozwijana infrastruktura oraz stosunkowo niski koszt wykonania partii technologicznych czyni Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych idealnym miejscem dla wytwarzania prototypów specjalizowanych mikrosystemów, detektorów i sensorów, które nie znajdują się w ofercie dużych producentów. Realizowane prace finansowane są zarówno ze środków publicznych — projekty NCBiR, NCN oraz EU, jak i źródeł komercyjnich — bezpośrednie zlecenia od przedsiębiorstw. W 2019 roku realizowano m.in. cztery duże projekty międzynarodowe, w których kluczowymi partnerami byli Lars Lightning, P.P.U. Medbryt i Automatix, STMicroelectronics (Włochy) oraz National Institute for Research and Development in Microtechnologies (Rumunia). Realizowano również usługi badawcze dla firm takich jak Weles Acoustics Sp. z o.o., Centrum Rozwojowo-Wdrożeniowe Telesystem Mesko, Elektrometal SA, PIK Instruments, Przedsiębiorstwo Projektowo-Wdrożeniowe AWAT, SIRC Sp. z o.o., Vigo System S.A, PORT Polski Ośrodek Rozwoju Technologii i EXXELIA SAS (Francja) oraz dla uczelni m.in. Politechniki Łódzkiej, Wojskowej Akademii Technicznej w Warszawie, Uniwersytetu im. Adama Mickiewicza w Poznaniu, Akademii Górniczo-Hutnicza w Krakowie, Politechniki Wrocławskiej oraz Uniwersytetu Sapienza w Rzymie.