Oferta

Czujniki siły, sensory, belki, piezorezystywne czujniki, mikro- i nanomanipulacja

Rodzina czujników siły opracowanych w ITE bazuje na idei piezorezystywnych belek krzemowych. Oferowane czujniki są miniaturowe oraz uniwersalne (wymagają jedynie prostego elektronicznego układu odczytowego).
czytaj więcej

Detektory promieniowania jonizującego

Krzemowe detektory PIN, detektory paskowe, matryce detektorowe o strukturze p-i-n.
czytaj więcej

Fotodetektory

W Instytucie Technologii Elektronowej opracowywane są i wytwarzane (również w znacznej skali) różne typy półprzewodnikowych fotodetektorów. Poniżej przedstawiono podstawową ofertę Instytutu w dziedzinie fotodetektorów.
czytaj więcej

Komputerowe modelowanie i symulacje struktur MEMS

Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych dysponuje szeregiem pakietów programów typu TCAD (ang. Technology Computer Aided Design) służącym do zintegrowanego modelowania i symulacji.
czytaj więcej

Mikromontaż struktur i układów hybrydowych, cięcie płytek, sprzęganie światłowodów

Oferujemy kompleksowe usługi montażu struktur półprzewodnikowych i innych elementów w obudowach metalowych (TO5, TO8,TO18, TO3 i innych), ceramicznych (DIL, LCC i innych) na laminacie (FR-4), podłożach i obudowach powierzonych.
czytaj więcej

Opracowanie specjalizowanego układu scalonego

Jest to kompleksowa oferta usługi badawczo – rozwojowej, polegającej na wykonaniu wszystkich, lub wybranych, etapów realizacji specjalizowanego układu scalonego ASIC (Application Specific Integrated Circuit).
czytaj więcej

Rodzina mikroczujników opartych na jonoczułych tranzystorach polowych (ISFET)

Rodzina jonoczułych tranzystorów polowych (ISFET) - mikroczujniki dla pomiarów współczynnika pH, aplikacji biomedycznych, monitorowania zanieczyszczenie wód gruntowych.
czytaj więcej

Wytwarzanie masek

Projektowanie oraz współpraca z klientami przy wykonywaniu projektów średnio skomplikowanych masek przyrządów półprzewodnikowych oraz dla celów mikromechaniki.
czytaj więcej

Zakład Tech­no­lo­gii Mikro­sys­te­mów i Nano­struk­tur Krze­mo­wych ITE ofe­ruje moż­li­wość wytwa­rza­nia w pełni funk­cjo­nal­nych mikro­sys­te­mów opar­tych o tech­no­lo­gie CMOS/MEMS.

Zakład dys­po­nuje zesta­wem spe­cja­li­stycz­nych urzą­dzeń tech­no­lo­gicz­nych ulo­ko­wa­nych w pomiesz­cze­niach czy­stych klasy 4 – 6 (wg ISO 14644–1), za pomocą któ­rych mogą być reali­zo­wane bada­nia pod­sta­wowe, prze­my­słowe i prace roz­wo­jowe (TRL 1 – 8) nad wytwa­rza­niem mikro- i nano-przyrządów, aż do fazy pro­to­typu. Do dys­po­zy­cji zama­wia­ją­cych są m.in. urzą­dze­nia do wyko­ny­wa­nia pro­cesu foto­li­to­gra­fii (mask ali­gner, wafer step­per, Direct Wri­ting Laser sys­tem oraz EBL, spin coater, spray coater), piece do utle­nia­nia i dyfu­zji, reak­tory do osa­dza­nia (LPCVD, APCVD oraz PECVD), reak­tory do tra­wie­nia pla­zmo­wego, sta­no­wi­ska do tra­wie­nia mokrego, napy­larki metali, wiąz­kowy implan­ta­tor jonów, uni­kalny implan­ta­tor pla­zmowy oraz reak­tor do szyb­kiego wygrze­wa­nia (RTP), urzą­dze­nie do łącze­nia pły­tek (wafer bon­der), urzą­dze­nia do mikro­mon­tażu (wire bon­der, die bon­der) i her­me­ty­za­cji struk­tur w obu­do­wach. Urzą­dze­nia tech­no­lo­giczne dosto­so­wane są do obróbki pod­łoży krze­mo­wych o śred­nicy 100 i 150 mm.

Uzu­peł­nie­niem poten­cjału tech­no­lo­gicz­nego są urzą­dze­nia do cha­rak­te­ry­za­cji mikro­sys­te­mów MEMS w zakre­sie para­me­trów elek­trycz­nych (pro­bery, ana­li­za­tory widma, sondy czte­ro­ostrzowe) i mecha­nicz­nych (wibro­metr lase­rowy zin­te­gro­wany z pro­be­rem próż­nio­wym), a także do badań mate­ria­ło­wych w mikro­skali oraz ana­lizy topo­gra­fii powierzchni (sys­tem mikro­sko­pii cyfro­wej, inter­fe­ro­metr świa­tła bia­łego oraz mikro­skopy ostrzowe – nano­in­ten­der i mikro­skop sił ato­mo­wych).

Zakład ofe­ruje moż­li­wość podej­mo­wa­nia wspól­nych pro­jek­tów, opra­co­wa­nie i wyko­ny­wa­nie poje­dyn­czych pro­ce­sów tech­no­lo­gicz­nych, wytwa­rza­nie masek foto­li­to­gra­ficz­nych (włącz­nie z pro­jek­tem CAD), cię­cie pły­tek (krze­mo­wych, szkla­nych itp.), kom­pu­te­rowe mode­lo­wa­nie i symu­la­cje struk­tur MEMS, jak rów­nież opra­co­wa­nie i wytwa­rza­nie kom­plet­nych przy­rzą­dów dosto­so­wa­nych do spe­cy­ficz­nych potrzeb zama­wia­ją­cego m.in. róż­nego typu mikro­sys­te­mów i czuj­ni­ków (np. wyko­rzy­stu­ją­cych struk­tury rezo­nan­sowe z pie­zo­re­zy­sto­rami lub jono­czułe elek­trody i tran­zy­story polowe ISFET), foto­de­tek­to­rów, detek­to­rów pro­mie­nio­wa­nia joni­zu­ją­cego i THz, struk­tur MOS (np. tran­zy­story typu Fin­FET), czy też ela­stycz­nych elek­trod np. do zasto­so­wań medycz­nych. Oferta kie­ro­wana jest szcze­gól­nie do bada­czy i przed­się­bior­ców zain­te­re­so­wa­nych zagad­nie­niami pomia­ro­wymi, opra­co­wy­wa­niem spe­cja­li­stycz­nych przy­rzą­dów dla badań nauko­wych, Inter­ne­tem przed­mio­tów (w tym Indu­stry 4.0), a także apli­ka­cją mikro­sys­te­mów w bio­lo­gii i medy­cy­nie.