Czujniki siły, sensory, belki, piezorezystywne czujniki, mikro- i nanomanipulacja
Detektory promieniowania jonizującego
Fotodetektory
Komputerowe modelowanie i symulacje struktur MEMS
Mikromontaż struktur i układów hybrydowych, cięcie płytek, sprzęganie światłowodów
Rodzina mikroczujników opartych na jonoczułych tranzystorach polowych (ISFET)
Wytwarzanie masek
Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych ITE oferuje możliwość wytwarzania w pełni funkcjonalnych mikrosystemów opartych o technologie CMOS/MEMS.
Zakład dysponuje zestawem specjalistycznych urządzeń technologicznych ulokowanych w pomieszczeniach czystych klasy 4 – 6 (wg ISO 14644–1), za pomocą których mogą być realizowane badania podstawowe, przemysłowe i prace rozwojowe (TRL 1 – 8) nad wytwarzaniem mikro- i nano-przyrządów, aż do fazy prototypu. Do dyspozycji zamawiających są m.in. urządzenia do wykonywania procesu fotolitografii (mask aligner, wafer stepper, Direct Writing Laser system oraz EBL, spin coater, spray coater), piece do utleniania i dyfuzji, reaktory do osadzania (LPCVD, APCVD oraz PECVD), reaktory do trawienia plazmowego, stanowiska do trawienia mokrego, napylarki metali, wiązkowy implantator jonów, unikalny implantator plazmowy oraz reaktor do szybkiego wygrzewania (RTP), urządzenie do łączenia płytek (wafer bonder), urządzenia do mikromontażu (wire bonder, die bonder) i hermetyzacji struktur w obudowach. Urządzenia technologiczne dostosowane są do obróbki podłoży krzemowych o średnicy 100 i 150 mm.
Uzupełnieniem potencjału technologicznego są urządzenia do charakteryzacji mikrosystemów MEMS w zakresie parametrów elektrycznych (probery, analizatory widma, sondy czteroostrzowe) i mechanicznych (wibrometr laserowy zintegrowany z proberem próżniowym), a także do badań materiałowych w mikroskali oraz analizy topografii powierzchni (system mikroskopii cyfrowej, interferometr światła białego oraz mikroskopy ostrzowe – nanointender i mikroskop sił atomowych).
Zakład oferuje możliwość podejmowania wspólnych projektów, opracowanie i wykonywanie pojedynczych procesów technologicznych, wytwarzanie masek fotolitograficznych (włącznie z projektem CAD), cięcie płytek (krzemowych, szklanych itp.), komputerowe modelowanie i symulacje struktur MEMS, jak również opracowanie i wytwarzanie kompletnych przyrządów dostosowanych do specyficznych potrzeb zamawiającego m.in. różnego typu mikrosystemów i czujników (np. wykorzystujących struktury rezonansowe z piezorezystorami lub jonoczułe elektrody i tranzystory polowe ISFET), fotodetektorów, detektorów promieniowania jonizującego i THz, struktur MOS (np. tranzystory typu FinFET), czy też elastycznych elektrod np. do zastosowań medycznych. Oferta kierowana jest szczególnie do badaczy i przedsiębiorców zainteresowanych zagadnieniami pomiarowymi, opracowywaniem specjalistycznych przyrządów dla badań naukowych, Internetem przedmiotów (w tym Industry 4.0), a także aplikacją mikrosystemów w biologii i medycynie.
