⇚ powrót
Komputerowe modelowanie i symulacje struktur MEMS
- CoventorWare - to narzędzie mające ogromne możliwości przeprowadzania wielodomenowych zintegrowanych symulacji struktur na wielu poziomach złożoności modelu. System zawiera różnorodne moduły, pozwalające na modelowanie i symulacje struktur (głównie typu MEMS/MOEMS) na poziomie modeli behawioralnych oraz modeli 3-D. Pakiet CoventorWare obejmuje między innymi zagadnienia elektrostatyczne, mechaniczne, termomechaniczne i piezoelektryczne/piezorezystywne a także pozwala na prowadzenie symulacji z zakresu zintegrowanej optyki. Ponadto dostępne są moduły z zakresu mikrofluidyki i zagadnień interakcji struktura MEMS- obudowa.
- Semulator3D/Etch3D to narzędzia pozwalające na emulowanie procesów technologicznych – tzw. virtual prototyping. Wynikiem symulacji jest realistyczny model 3D uwzględniający zastosowane procesy technologiczne (trawienia chemiczne,plazmowe etc.)
- Matlab/Simulink to obecnie standard we współczesnych obliczeniach naukowo-technicznych. Najistotniejszą cechą pakietu Matlab/Simulink stosowanego w ITE jest możliwość jego integracji ze środowiskiem CoventorWare. Połączenie tych środowisk stwarza unikatową możliwość prowadzenia symulacji współbieżnej (ang. co-simulation) przyrządu MEMS (CoventorWare) oraz układu sterowania (Simulink).
- Pakiet narzędzi SILVACO (Athena, Atlas) jest przeznaczony do numerycznej 2-D symulacji procesów technologicznych i przyrządów półprzewodnikowych.
- Pakiet narzędzi ISE TCAD (DIOS, DESSIS) jest przeznaczony do numerycznej 3-D symulacji procesów technologicznych i przyrządów półprzewodnikowych.
