⇚ powrót
Specjalizujemy się w strukturalnych, optycznych i elektrycznych metodach charakteryzacji. W ofercie w zakresie mikroskopii elektronowej i nanotechnologii znajdują się: transmisyjna mikroskopia elektro-nowa (TEM), trawienie zogniskowaną wiązką jonów (FIB) i nanoprocesy na FIB oraz skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM).
Obrazy wysokorozdzielczej TEM (HRTEM) dla materiałów, warstw, międzypowierzchni, nanoobiektów itp. z rozdzielczością liniową 0,14 nm. Skaningowo-transmisyjna mikroskopia elektronowa (STEM) pozwala mapować wyniki analityczne. Stosowane są m. in. mikroanaliza składu chemicznego na podstawie promieniowania rentgenowskiego (EDXS), Nano Beam Diffraction (NBD), obrazowanie przy użyciu elektronów rozproszonych pod dużymi kątami (HAADF). Minimalny rozmiar wiązki 1 nm dla analizy nanoobiektów.
Urządzenie do trawienia zogniskowaną wiązką jonów (Focused Ion Beam) jest używane do preparatyki próbek dla TEM. Helios NanoLab Dual Beam FIB służy też do wielu rodzajów procesów nano- technologicznych, jak nakładanie metali (Pt, W) i dielektryków, ich trawienie oraz trawienie wielu innych materiałów, w tym przyśpieszone trawienie dielektryków i polimerów, czyli tworzenie zapro- jektowanych wzorów na różnych materiałach. Możliwe są procesy technologiczne na płytkach do średnicy 150 mm z dostępem do każdego punktu powierzchni.
WYNIK: Raport z oryginalnymi zdjęciami, wynikami pomiarów i opisem wykonany przez specjalistę
REFERENCJE: Max-Planck-Institut für Metallforschung, Stuttgart, Niemcy; IEMN/ISEN, UMRS CNRS, Villeneuve d’ AscqCedex, Francja; Université Catholique de Louvain, Belgia
KONTAKT: Andrzej Czerwiński aczerwin@ite.waw.pl, Jacek Ratajczak rataj@ite.waw.pl
Mikroskopia elektronowa oraz nanoprocesy na FIB
- Transmisyjna mikroskopia elektronowa (TEM)
Obrazy wysokorozdzielczej TEM (HRTEM) dla materiałów, warstw, międzypowierzchni, nanoobiektów itp. z rozdzielczością liniową 0,14 nm. Skaningowo-transmisyjna mikroskopia elektronowa (STEM) pozwala mapować wyniki analityczne. Stosowane są m. in. mikroanaliza składu chemicznego na podstawie promieniowania rentgenowskiego (EDXS), Nano Beam Diffraction (NBD), obrazowanie przy użyciu elektronów rozproszonych pod dużymi kątami (HAADF). Minimalny rozmiar wiązki 1 nm dla analizy nanoobiektów.
- Trawienie zogniskowaną wiązką jonów (FIB) i nanoprocesy na FIB
Urządzenie do trawienia zogniskowaną wiązką jonów (Focused Ion Beam) jest używane do preparatyki próbek dla TEM. Helios NanoLab Dual Beam FIB służy też do wielu rodzajów procesów nano- technologicznych, jak nakładanie metali (Pt, W) i dielektryków, ich trawienie oraz trawienie wielu innych materiałów, w tym przyśpieszone trawienie dielektryków i polimerów, czyli tworzenie zapro- jektowanych wzorów na różnych materiałach. Możliwe są procesy technologiczne na płytkach do średnicy 150 mm z dostępem do każdego punktu powierzchni.
- Skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM)
WYNIK: Raport z oryginalnymi zdjęciami, wynikami pomiarów i opisem wykonany przez specjalistę
REFERENCJE: Max-Planck-Institut für Metallforschung, Stuttgart, Niemcy; IEMN/ISEN, UMRS CNRS, Villeneuve d’ AscqCedex, Francja; Université Catholique de Louvain, Belgia
KONTAKT: Andrzej Czerwiński aczerwin@ite.waw.pl, Jacek Ratajczak rataj@ite.waw.pl
